超凈高純雙氧水生產(chǎn)技術(shù)與裝置開發(fā)成功
來源:全球電池網(wǎng) 日期:2011-11-16 點(diǎn)擊:
該項(xiàng)目開發(fā)的技術(shù)可廣泛應(yīng)用于光伏、微電子專用化工材料分離與純化,尤其是超大規(guī)模集成電路(0.09~0.2μm技術(shù))用超純電子化學(xué)品。超凈高純雙氧水作為光伏、電子工業(yè)硅片清洗劑、印刷電路板的刻蝕劑等,是光伏、電子工業(yè)不可缺少的精細(xì)化學(xué)品。目前,國內(nèi)光伏、電子業(yè)生產(chǎn)所需的電子級超凈高純雙氧水無論質(zhì)量和數(shù)量都不能滿足行業(yè)的要求,主要依賴進(jìn)口。
我公司是國內(nèi)第一家采用石英玻璃材質(zhì)生產(chǎn)化學(xué)試劑、精細(xì)化學(xué)品精餾裝置的高科技企業(yè),經(jīng)過二十多年的生產(chǎn)實(shí)踐,開發(fā)、研制出二十多種產(chǎn)品、五十多種型號規(guī)格的超純電子化學(xué)品精餾裝置,其中雙氧水精餾裝置分別有50t/a、75t/a、100t/a、120t/a等規(guī)格,其產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到SEMIC12雙氧水的標(biāo)準(zhǔn),金屬離子濃度≤0.1ppb,非金屬離子濃度≤100ppb,顆粒≥0.5μm25Pcs/mL。技術(shù)水平達(dá)到國際先進(jìn)水平。
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