22日，由特變電工新疆硅業有限公司研發的專利——一種多晶硅生產中汽化尾氣中氯化氫的方法及其裝置獲得2011年度新疆專利獎一等獎。這項專利不僅實現了多晶硅生產中尾氣部分的回收利用，提升了整個工藝流程清潔環保能力，而且取得良好節能降耗效果，每年可為企業節省1875萬元。

    據了解，目前國際上主流的多晶硅生產方法為改良西門子法。該方法生產過程中，會產生大量的包含氫氣、氯化氫和氯硅烷的尾氣，這些尾氣若不加以回收利用，會造成原料的極大浪費并嚴重破壞環境。為解決這一問題，特變電工新疆硅業有限公司積極創新，研發出一套具有自主知識產權的尾氣干法回收系統，并申請獲得了專利。

    據專利發明人陳朝霞介紹，要實現尾氣中氯化氫的分離回收，需通過吸收與解析兩個工藝過程。在這兩個過程中，都需要消耗大量能量。分離回收的氯化氫此時呈液態，若要進入后續工藝，還需將其加熱汽化，傳統多晶硅行業多通過電加熱器實現汽化，不僅耗費大量電能，而且氯化氫純度難以控制。

    由陳朝霞研制的一種多晶硅生產中汽化尾氣中氯化氫的方法及其裝置，利用尾氣中的低溫氯化氫液體，通過換熱設備，與尾氣中另一種需要回收的氣體——高溫氯硅烷液體進行熱交換，換熱后再作為低溫吸收液體繼續吸收尾氣中的氯化氫。這樣就形成了一個循環圈，將尾氣產生的能量充分利用。

    通過實施專利，該公司每年可節約能量折合標煤1.31萬噸，多晶硅產品質量也大大提升。