OECO 電池是傾斜蒸發(fā)金屬接觸(Obliquely evaporated contact，OECO)硅太陽(yáng)能電池的簡(jiǎn)稱。

OECO 太陽(yáng)電池是德國(guó)ISFH研究所從九十年代就開始研制的一種新型單晶硅電池。與其他高效電池相比，具有結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)新穎、制作簡(jiǎn)單、電極原料無(wú)損耗、成本低廉和適合大批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。OECO電池結(jié)構(gòu)基于金屬-絕緣體-半導(dǎo)體(MIS)接觸，利用表面溝槽形貌的遮掩在極薄的氧化隧道層上傾斜蒸鍍低成本的Al作為電極，無(wú)需光刻、電極燒穿、電極下重?fù)诫s和高溫工藝即可形成高質(zhì)量的接觸，并且一次性可蒸鍍大批量的電池電極。更為重要的是當(dāng)這種電池制作面積從4 cm2擴(kuò)大到100 cm2時(shí)，效率也只是從21.1%略微降到20%，仍然屬于高效范圍，所以這種結(jié)構(gòu)的電池更適宜于工藝生產(chǎn)。

圖 ：德國(guó) ISFH 的 OECO 電池 h=21.1%

OECO結(jié)構(gòu)示意圖如圖8所示，電池的表面由許多排列整齊的方形溝槽組成，淺發(fā)射極n+位于硅片的上表面，在其上有一極薄的氧化隧道層，Al電極傾斜蒸鍍于溝槽的側(cè)面，然后利用PECVD蒸鍍氮化硅作為鈍化層和減反射膜。

OECO電池有以下特點(diǎn)：

(1)電極是蒸鍍?cè)跍喜鄣膫?cè)面，有利于提高短路電流;

(2)優(yōu)異的MIS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以獲得很高的開路電壓和填充因子;

(3)高質(zhì)量的蒸鍍電極接觸;

(4)不受接觸特性限制的可以被最優(yōu)化的淺發(fā)射極;

(5)高質(zhì)量的低溫表面鈍化。

電池的制作具體過程為：

前表面機(jī)械開槽→化學(xué)腐蝕清洗→背面掩膜(擴(kuò)散)→前表面化學(xué)制絨→使用液態(tài)源POCl3進(jìn)行磷擴(kuò)散制作n+發(fā)射極→打開背面接觸→真空蒸鍍Al作為背電極→前表面低溫?zé)嵫趸�形成氧化隧道�?rarr;前表面無(wú)需掩膜直接傾斜蒸鍍Al作為面電極→使用導(dǎo)電膠將各個(gè)面電極連接起來(lái)→采用PECVD法在前表面蒸鍍氮化硅作為鈍化和減反射層。(